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實(shí)驗(yàn)型氧化亞硅設(shè)備適配實(shí)驗(yàn)室小批量研發(fā)，集成真空加熱、研磨分散、冷凝收集核心模塊，支持多溫區(qū)精準(zhǔn)控溫與高真空環(huán)境作業(yè)，溫控精度高、粒度調(diào)節(jié)靈活，可完成氧化亞硅制備全流程實(shí)驗(yàn)，滿足材料配方優(yōu)化、工藝參數(shù)調(diào)試需求。